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超硬薄膜制备技术与性能表征方法的研究进展
超硬薄膜制备技术与性能表征方法的研究进展
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a381697182
【摘 要】
:
超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法,分析了制备技术和性能表征方法的优缺点,指出了超硬薄膜研究发展的方向。
【作 者】
:
郑凤新
【机 构】
:
济宁技师学院
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
2012年6期
【关键词】
:
超硬薄膜
制备技术
性能表征
super hard films
fabrication technique
property characterizatio
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超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法,分析了制备技术和性能表征方法的优缺点,指出了超硬薄膜研究发展的方向。
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