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超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法，分析了制备技术和性能表征方法的优缺点，指出了超硬薄膜研究发展的方向。
超硬薄膜制备技术与性能表征方法的研究进展
【摘 要】
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超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法，分析了制备技术和性能表征方法的优缺点，指出了超硬薄膜研究发展的方向。
【机 构】
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济宁技师学院
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2012年6期
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