磁控弧光放电增强等离子体离子镀合成c-BN薄膜

来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guoxuemei123
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采用能产生高密度等离子体的磁控弧光放电增强等离子体离子镀的方法,制备立方氮化硼(c-BN)薄膜. A cubic boron nitride (c-BN) thin film was prepared by magnetron arc discharge enhanced plasma ion plating which can produce high-density plasma.
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