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SOI技术及其应用
SOI技术及其应用
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kruotreo
【摘 要】
:
综述在氧化物绝缘层上生长硅技术(SOI)的优点、特性、制作技术,以及实际应用。肯定了SOI结构在半导体电路和器件研制、生产中具有重要的发展前景。指明了这是解决半导体电路和器件在各
【作 者】
:
夏代川
【机 构】
:
重庆光电技术研究所工程师,永川632163
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
SOI
CCD
抗核辐射
集成电路
SOI
IC
CCD
Antiradiation
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综述在氧化物绝缘层上生长硅技术(SOI)的优点、特性、制作技术,以及实际应用。肯定了SOI结构在半导体电路和器件研制、生产中具有重要的发展前景。指明了这是解决半导体电路和器件在各种辐射粒子影响和离温下工作时高可靠性的一个全新的技术任务。
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