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阳极焊过渡层钠硼硅系玻璃薄膜的制备
阳极焊过渡层钠硼硅系玻璃薄膜的制备
来源 :机械工程与自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lazysands
【摘 要】
:
采用射频磁控溅射法在ZrO2陶瓷衬底上制备钠硼硅系玻璃薄膜,目的是以这层薄膜作为过渡层实现ZrO2精细陶瓷与单晶Si之间的阳极焊,通过XRD、EDS和SEM等测试手段对薄膜的物质结
【作 者】
:
阴旭
刘翠荣
孟庆森
【机 构】
:
太原科技大学,太原理工大学
【出 处】
:
机械工程与自动化
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
阳极焊
磁控溅射
钠硼硅系玻璃薄膜
anodic bonding
magnetron sputtering
Na2O-B2O3-SiO2 system gla
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目(50375105)
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采用射频磁控溅射法在ZrO2陶瓷衬底上制备钠硼硅系玻璃薄膜,目的是以这层薄膜作为过渡层实现ZrO2精细陶瓷与单晶Si之间的阳极焊,通过XRD、EDS和SEM等测试手段对薄膜的物质结构和化学成分进行了多方面的分析,结果表明这种工艺是可行的.
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