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本文提出用特征Ｘ射线的发射和吸收来测定薄层或表面涂层的厚度。从理论上解决了最佳能量的选择问题，使薄层厚度测定的检出下限大幅度优化。并通过实践证明了方法的可靠性和实用性。
用X射线荧光方法测定薄层、镀层和涂层厚度
【摘 要】
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本文提出用特征Ｘ射线的发射和吸收来测定薄层或表面涂层的厚度。从理论上解决了最佳能量的选择问题，使薄层厚度测定的检出下限大幅度优化。并通过实践证明了方法的可靠性和实用
【机 构】
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北卡洛莱纳州立大学,成都理工学院
【出 处】
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物探化探计算技术
【发表日期】
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1996年S1期
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