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本文介绍了Ｘ射线双晶衍射仪的特点及其原理，以及利用Ｘ射线摇摆曲线技术在半导体材料研究方面的应用。
高精度X射线双晶衍射仪的原理及其应用
【摘 要】
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本文介绍了Ｘ射线双晶衍射仪的特点及其原理，以及利用Ｘ射线摇摆曲线技术在半导体材料研究方面的应用。
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1997年4期
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