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为了提高悬臂粱压电陶瓷单晶片的发电性能，根据等强度梁理论，对悬臂梁压电陶瓷单晶片结构进行优化设计，得到等应力悬臂梁压电陶瓷单晶片。通过ANSYS仿真和实验研究，对比分析等应力悬臂梁压电陶瓷单晶片和非等应力悬臂梁压电陶瓷单晶片发电性能．结果表明：等应力悬臂梁压电陶瓷单晶片的发电性能更好，在相同的激励条件下，其单位面积输出的电压更高。