扩散泵微量返油实验装置的研究

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本文提出了应用石英晶体谐振天平技术测量返油率的新方法。通过理论分析和试验研究,证明这种方法可以推广应用。返油率在10-3~10-4mg/cm2·min量级上进行了实际测量,取得了满意的效果。 This paper presents a new method of measuring the oil return rate using quartz crystal resonant balance technology. Through theoretical analysis and experimental research, it is proved that this method can be applied widely. The oil return rate was measured on the order of 10-3 ~ 10-4mg / cm2 · min, and satisfactory results were obtained.
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