钛铪酸钡薄膜的制备与形貌

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：benq702

【摘要】

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溶胶-凝胶工艺在(100)Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了BaHfxTi1-xO3(x=0.005,0.01,0.02)薄膜。通过X射线衍射仪、拉曼光谱对薄膜微观结构进行了测试，采用APEX型多功能力学测试系统

【作者】

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余娟李丹周恒为瞿腾飞尹红梅

【机构】

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伊犁师范学院物理科学与技术学院,南京大学物理学院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2018年9期

【关键词】

：

钛铪酸钡薄膜微观结构表面形貌 BaHfxTi1-xO3 filmmicrostructuresurface morphology

【基金项目】

：

新疆自然科学基金(2015211C296)

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溶胶-凝胶工艺在(100)Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了BaHfxTi1-xO3(x=0.005,0.01,0.02)薄膜。通过X射线衍射仪、拉曼光谱对薄膜微观结构进行了测试，采用APEX型多功能力学测试系统的3D显微镜模块和SEM对薄膜表面粗糙和厚度进行了表征。结果表明：薄膜中Hf4+进入BaTiO3晶格中，且BaHfxTi1-xO3具有明显的(200)取向，当x=0.005时取向度最大(1.94)，晶粒尺寸最小(21.34nm)；薄膜拉曼光谱发现随Hf4+含量的增加BaHfxTi1-xO3薄膜

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