【摘 要】
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对声表面波(SAW)氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标,一是改善SAW氢传感器的关键部件——敏感薄膜的
【机 构】
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南京工业大学机械与动力工程学院,南京工业大学机械与动力工程学院,南京工业大学机械与动力工程学院,卡尔斯鲁厄大学 江苏南京210009,江苏南京210009,江苏南京210009,德国卡尔斯鲁厄7612
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对声表面波(SAW)氢传感器的研究目前主要集中在改善其敏感性、加快响应速度、增强稳定性以及消除温度的影响。要实现这些目标,一是改善SAW氢传感器的关键部件——敏感薄膜的性能;二是改进传感器的结构。对主要研究机构在这些方面的研究进行了系统的综述,并提出了发展方向。
Research on surface acoustic wave (SAW) hydrogen sensors has so far focused on improving their sensitivity, speeding up response, enhancing stability, and eliminating the effects of temperature. To achieve these goals, one is to improve the performance of SAW hydrogen sensor, which is the key component of sensitive sensor, and the other is to improve the structure of sensor. The main research institutions in these aspects of research conducted a systematic review, and put forward the direction of development.
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