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访中科院微电子所副所长叶甜春教授IC装备走出三位一体创新路子
访中科院微电子所副所长叶甜春教授IC装备走出三位一体创新路子
来源 :中国制造业信息化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:reap
【摘 要】
:
记者:请您介绍在“十五”期间,作为国家863计划技术攻关重点支持的一个项目,我国IC装备技术和产品研发的重大意义和技术研究的突破点?
【作 者】
:
丁常彦
【出 处】
:
中国制造业信息化
【发表日期】
:
2005年11期
【关键词】
:
中科院
微电子
装备技术
三位一体
攻关重点
产品研发
国家
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记者:请您介绍在“十五”期间,作为国家863计划技术攻关重点支持的一个项目,我国IC装备技术和产品研发的重大意义和技术研究的突破点?
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