MOCVD生长的GaN基LED的应力分析

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：viclee0716

【摘要】

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使用金属有机化学气相沉积法在c轴蓝宝石衬底上制作了GaN基LED.研究了外延层厚度和n型层的生长速率对整个外延弯曲度、翘曲度及应力的影响.光致发光(PL)光谱、FM100及拉曼(Ra

【作者】

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张恒曲爽王成新胡小波徐现刚

【机构】

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山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100山东浪潮华光光电子股份有限公司,济南,250100;山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100;山东浪潮华光光电子股份有限公司,济南250100

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

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2015年12期

【关键词】

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氮化镓金属有机化学气相沉积法翘曲度

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使用金属有机化学气相沉积法在c轴蓝宝石衬底上制作了GaN基LED.研究了外延层厚度和n型层的生长速率对整个外延弯曲度、翘曲度及应力的影响.光致发光(PL)光谱、FM100及拉曼(Raman)用于表征样品的特性.结果表明通过减薄外延层的厚度和降低n型层的生长速率,弯曲度、翘曲度及应力均得到有效的降低.与此同时,外延片的波长均匀性得到了进一步的提高.

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