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STUDIES　OF　THE　LATTICE　DAMAGE　CAUSED　BY　ION　IMPLANTATION　INTO　Al_xGa<sub>

来源 :中国化学快报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qg20090908

【摘 要】

：

ＳＴＵＤＩＥＳＯＦＴＨＥＬＡＴＴＩＣＥＤＡＭＡＧＥＣＡＵＳＥＤＢＹＩＯＮＩＭＰＬＡＮＴＡＴＩＯＮＩＮＴＯＡｌ_ｘＧａ₍１－ｘ_ＡＳ／ＧａＡｓ￥ＢａｏＡｎＧＯＮＧ；ＸｉａｏＬｉＨＡＮ(ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＡｐｐｌｉｅｄＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ｙａｎｔａ?..

【出 处】

：

中国化学快报：英文版

【发表日期】

：

1994年8期

【关键词】

：

希幔 Al_xGa BY CAUSED DAMAGE IMPLANTATION INTO LATTICE OF STUDIES 

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ＳＴＵＤＩＥＳＯＦＴＨＥＬＡＴＴＩＣＥＤＡＭＡＧＥＣＡＵＳＥＤＢＹＩＯＮＩＭＰＬＡＮＴＡＴＩＯＮＩＮＴＯＡｌ_ｘＧａ₍１－ｘ_ＡＳ／ＧａＡｓ￥ＢａｏＡｎＧＯＮＧ；ＸｉａｏＬｉＨＡＮ(ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＡｐｐｌｉｅｄＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ｙａｎｔａ?..

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