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运用ABAQUS有限元分析软件建立金刚石线切割单晶硅的二维模型,并进行了二维切割仿真。通过改变金刚石单颗磨粒的切削速度,分析了单晶硅材料在不连续切割过程的应力场、切削力及不同切削速度对硅材料损伤层的影响。
线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响
【摘 要】
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运用ABAQUS有限元分析软件建立金刚石线切割单晶硅的二维模型,并进行了二维切割仿真。通过改变金刚石单颗磨粒的切削速度,分析了单晶硅材料在不连续切割过程的应力场、切削力
【机 构】
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内蒙古中环光伏材料有限公司,内蒙古呼和浩特供电局武川分局
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2019年11期
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