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设计了一种基于微机电系统(MEMS)工艺的以氧化钨(WO3)为敏感材料的微结构气体传感器,并从半导体理论解释了WO3对二氧化氮(NO2)的敏感机理。气体传感器芯片尺寸为1.3mm×1.3mm,微热板的有效面积为0.4mm×0.4mm。实验结果表明:设计的气体传感器对NO2气体表现出良好的响应,在最佳工作温度下(140℃)功耗为23mw,最低检测限达50×10^-9,响应时间为60s,恢复时间为180S。