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介绍了紫外光刻技术，电子束光刻技术，Ｘ射线光刻技术以及与这些技术相关的一些单元技术的最新进展，概要介绍了这些技术最热门的研究课题，阐述了这些技术的发展前景。
迈向21世纪的光刻技术
【摘 要】
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介绍了紫外光刻技术，电子束光刻技术，Ｘ射线光刻技术以及与这些技术相关的一些单元技术的最新进展，概要介绍了这些技术最热门的研究课题，阐述了这些技术的发展前景。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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1999年1期
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