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本文用微波等离子体化学气相沉积方法,以丙酮和氢气作为原料气体,在人造金刚石的(100)(110)面上外延出金刚石,在(111)面上生长出多晶金刚石。
微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石
【摘 要】
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本文用微波等离子体化学气相沉积方法,以丙酮和氢气作为原料气体,在人造金刚石的(100)(110)面上外延出金刚石,在(111)面上生长出多晶金刚石。
【机 构】
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机电部郑州磨料磨具磨削研究所,兰州大学
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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1992年2期
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