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CVD涂层α-Al2O3织构制备技术研究
CVD涂层α-Al2O3织构制备技术研究
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:FLASH920
【摘 要】
:
采用化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积具有不同织构择优的α-Al2O3涂层,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分别对其微观组织和机械性能进行分析。研究结果表明,通
【作 者】
:
陈艺聪
【机 构】
:
厦门金鹭特种合金有限公司
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
2020年2期
【关键词】
:
CVD涂层
α-Al
2O
3
织构
CVD coatingα-Al2O3texture
【基金项目】
:
国家重点研发计划(2019YFB1704804)
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采用化学气相沉积法在硬质合金基体上沉积具有不同织构择优的α-Al2O3涂层,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分别对其微观组织和机械性能进行分析。研究结果表明,通过改善过渡层的氧化气氛,氧化铝的过渡层结构为针状物,成功制备不同织构的氧化铝涂层,涂层结合力良好。
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