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介绍用集成电路微细加工技术研制出的一种新型超薄平面结构的电涡流传感器探头。用理论模拟对线圈半径与绕向进行设计，并配制了适宜的二次电路，制造出微位移测试样机。同传统结构的电涡传感器探头相比，灵敏度提高了１６％，线性度改善２％。
超薄平面结构电涡流传感器的研究
【摘 要】
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介绍用集成电路微细加工技术研制出的一种新型超薄平面结构的电涡流传感器探头。用理论模拟对线圈半径与绕向进行设计，并配制了适宜的二次电路，制造出微位移测试样机。同传统结
【机 构】
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西安交通大学电子工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1995年3期
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