【摘 要】
：
利用X射线衍射动力学理论和位错的小角晶界模型,分析了GaAs/Si外延层中位错对X射线双晶衍射摇摆曲线的影响,认为GaAs/Si外延层并不是严格取向一致的完整单晶膜,而是存在着许
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所 国家光电工艺中心 北京 100083,国家光电工艺中心 北京 100083,国家光电工艺中心 北京 100083
【出 处】
：
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)
论文部分内容阅读
利用X射线衍射动力学理论和位错的小角晶界模型,分析了GaAs/Si外延层中位错对X射线双晶衍射摇摆曲线的影响,认为GaAs/Si外延层并不是严格取向一致的完整单晶膜,而是存在着许多小角晶界的镶嵌晶体,并推导出了其中镶嵌块的晶向分布函数和晶格应变分布函数,模拟出了GaAs/Si外延层X射线双晶衍射摇摆曲线,由此曲线计算出了GaAs/Si外延层中的位错密度。同时还得到了Si衬底上GaAs外延层中镶嵌块的大小。为分析高失配外延材料的双晶衍射摇摆曲线提供了新的方法。
其他文献
2010年最火的器材无疑是单电(微单)相机,自2008年第一款单电相机面世至今单电这个星星之火已经野火燎原,成为了被市场非常认可的一类产品。长久以来,数码相机的画质和相机的
分析了铸钢件脆性断口的形成原因,就铝的氮化物对铸钢脆性断口的影响提出了解决对策。
煤炭是美国铁路最重要的运输产品,美国铁路承担了70%以上的煤炭运量。在对美国煤炭的生产和消费情况进行论述的基础上,分析铁路煤炭运输运量和收益的变化,以及铁路煤炭运输装
考虑半参数回归模型y_i=x_iβ+g(t_i)+e_i,1≤i≤n;其中g(·)是未知函数,β是待估参数,e_i是随机误差. 本文首先在(x_i,t_i)是i.i.d设计点列下,当g(·)的估计取一类核估计序
<正>在无反相机面世之初,业内便普遍认为这种类型的产品将会"上下通吃",逐渐蚕食便携数码相机和入门级单反相机的市场。在今天看来,虽然无反相机已经在市场上占有一席之地,但
<正>2013年7月初,佳能宣布研发出Dual Pixel CMOS AF(全像素双核CMOS AF)技术,这是数码单反相机领域一项革新的自动对焦技术。Dual Pixel CMOS AF是在图像感应器像面上的相差
阐述铁路保价运输的发展历程、保价运输和运输保险的区别,在对目前铁路集装箱保价运输面临的问题进行分析的基础上,提出保价、保险责任的起讫期不同,是制约保价运输快速发展
发展物流是转变铁路货运发展方式、推进多元化经营的重要手段。在分析太原铁路局物流节点建设现状的基础上,依据太原铁路局物流中心规划原则,在《铁路"十二五"物流发展规划》
在由金融危机所引发的新一轮反思主流经济学范式的浪潮中,著名经济学家熊彼特的理论学说又重新受到了学界的关注。然而,由于对熊彼特方法论认识的缺乏,国内学者对其著名理论
分析目前兰州铁路集装箱运输存在的时效性差、规模小、站点分散等问题,阐述了建设兰州铁路集装箱中心站对于促进西部地区经贸发展,实现运输资源合理配置,完善铁路集装箱运输