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近来,半导体科学主要的发展方向是制作高完整性和大面积杂质均匀的衬底材料和超薄外廷材料,并研究它们的特殊性能。本文主要对半导体材料的发展作一简单评述。
半导体材料的新发展
【摘 要】
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近来,半导体科学主要的发展方向是制作高完整性和大面积杂质均匀的衬底材料和超薄外廷材料,并研究它们的特殊性能。本文主要对半导体材料的发展作一简单评述。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
：
半导体情报
【发表日期】
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1992年06期
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