【摘 要】
：
硼磷硅玻璃膜(BPSG)是在等离子增强型化学汽相淀积(PECVD)系统中淀积的。在一个可容纳70个园片(片径100毫米)的淀积区内,膜厚度均匀性好于±5％、膜中掺杂量的变化低于±0.5％(重
论文部分内容阅读
硼磷硅玻璃膜(BPSG)是在等离子增强型化学汽相淀积(PECVD)系统中淀积的。在一个可容纳70个园片(片径100毫米)的淀积区内,膜厚度均匀性好于±5％、膜中掺杂量的变化低于±0.5％(重量)。具有保形台阶覆盖的淀积速率是200～300埃/分。本文概述了一种用离子色谱法来对掺杂物分析的新技术,也是作为用更通用的仪器进行快速无损分析的一种技术。最后,在本文中还表示了在各种掺杂浓度下低回流处理温度和回流角之函数关系。
Borophosphosilicate glass films (BPSG) are deposited in a plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system. The film thickness uniformity is better than ± 5% in a deposition zone that can hold 70 wafers (100 mm diameter) with a variation of less than ± 0.5% by weight in the film. The deposition rate with conformal step coverage is 200-300 angstroms / min. This article outlines a new technique for ion analysis of dopants and a technique for rapid, non-destructive analysis using more versatile instruments. Finally, the function of the low reflow temperature and the reflow angle at various doping concentrations is also presented in this paper.
其他文献
在岳麓版必修一的第15课关于辛亥革命的背景有这样一段表述:“义和团运动失败后,帝国主义列强加紧了对中国的控制和掠夺.清政府内外交困,试图通过新政来挽救统治危机.以孙中
前阵子收到一位同学的提问：“现在网络用语很多，也很时尚、生动，在作文中使用网络语言，好吗？”看来，除了影响娱乐方式、交往方式、消费方式，网络对我们说话、写作也产生了不小的影响。 这不，在《咬文嚼字》杂志编辑部公布的“2016年十大流行语”中，“洪荒之力”“吃瓜群众”“友谊的小船，说翻就翻”“一言不合就××”“蓝瘦，香菇”……这些由网络流行开的话语纷纷上榜。 人们爱用网络用语，大多因为其形象、好
从2006年新课改开始实施以来,学校的体育教育步人了实质性阶段,新课程理念冲击着体育教师已有的教育观念.强凋“以人为本”“健康第一”.因此,我们想通过新课改的东风,通过我
2009年4月4日～7日,国防科技工业科技成果推广转化研究中心在北京召开“第八届国防先进制造技术交流会”。会议由《新技术新工艺》杂志和航空工业生产力促进中心共同承办。共有
记得去年的这个时候,校领导忧心忡忡,到底让谁上高三呢.以往高三老师都以经验丰富的老教师为主,顺带几个年轻的上路;今年是课改的第一届,不能随便换教师,可这一届有一半教师
给出涂布粉末金属表面吸收率的测量方法。研究了八种金属材料表面涂布绝缘和非绝缘粉末层在低功率密度和高功率密度的CO_2激光作用下的吸收特性。
The method for measuring
本刊讯1月19日,北京国际工程机械展览与技术交流会(BICES)暨建国60周年工程机械成就展新闻发布会在北京亮马饭店召开。会议正式公布BICES将与美
The journalist January 19,
植物在抵御外来病原物侵染的过程中能产生大量活性氧 ,特别是过氧化氢 (H2 O2 )与超氧化物阴离子自由基 (O· - 2 )。在病原物与寄主植物发生亲和互作与非亲和互作的过程中 ,
随着火的频率日益增加、人口及对森林的需求增高,需要有一些方法,来对热带森林中火的影响进行评估。火对土壤的短期和长期影响取决于火前、火中和火后的环境。我们把这些成分
分支水平井是水平井技术的进一步发展和完善,是一种用于老油田开发后期提高采收率和新区改善开发效果的重要手段。目前,该技术在国外得到大规模的研究和应用,而在国内却刚刚