589nm激光器光路整合系统滤光膜的研制

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为了提高黄光激光器的信噪比,采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术,利用制备的589、1064、1178、1342nm波长处分别有特定透射率的干涉截止滤光片对无用光信号进行过滤。在实际镀制过程中,由于沉积工艺条件不同,导致材料折射率的不稳定。另外监控方法易引起误差.通过调整优化工艺参数并调整膜系,有效控制膜厚监控精度,提高了对应波长的光学性能。经过高温、潮湿等恶劣环境测试,该滤光片满足黄光激光器的使用要求。
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