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本文介绍一种以作者提出的掠射式镜面莫尔轮廓法的原理为依据而设计的镜面平整度测试仪。文中介绍了基本的光学原理以及能产生很大的放大系数以至在全场可达到微米级精度的条件。解释了仪器的结构及利用此仪器检测不同面形试件时所特有的条纹形状。最后提供由该器所获得的球镜面及硅片的条纹照片。
一种原理新颖的平整度测试仪
【摘 要】
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本文介绍一种以作者提出的掠射式镜面莫尔轮廓法的原理为依据而设计的镜面平整度测试仪。文中介绍了基本的光学原理以及能产生很大的放大系数以至在全场可达到微米级精度的条
【出 处】
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浙江大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年1期
【基金项目】
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浙江省自然科学基金
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