Research on C3N4 Superhard Compound Thin Film and Its Application

来源 :武汉大学学报：自然科学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lyan4321

【摘要】

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By combination of DC reactive magnetron sputtering with multiple arcplating, the alternating C3 N4/TiN compound film is deposited onto HSS. The core level bindi

【作者】

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Wu Da-wei Peng Li-li 等

【机构】

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WuhanUniversityHonorAdvancedMaterialCompany,SchoolofPhysicsandTechnology

【出处】

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武汉大学学报：自然科学英文版

【发表日期】

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2003年01A期

【关键词】

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C3N4 超硬薄膜调整钢涂层四氮化三碳工具钢 C3N4 superhard thin film High Speed Steel(HSS) coated

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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By combination of DC reactive magnetron sputtering with multiple arcplating, the alternating C3 N4/TiN compound film is deposited onto HSS. The core level binding energy and the contents of carbon and nitrogen are characterized by X-ray photoelectron spec

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