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申请(专利)号:CN200810186296.5;申请日:2008.12.22;公开(公告)号:CN101457340;公开(公告)日:2009.06.17;主分类号:C23C14/22(2006.01)I;分类号:C23C14/22(2006.01)I;申请(专利权)人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一。研究所;地址:730000甘肃省兰州市94号信箱;发明(设计)人:王云飞,陈学康,杨生胜,李中华,郑阔海,王兰喜,冯展祖,高欣。