滚型纳米压印工艺的研究进展和技术挑战

来源 :青岛理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiuzhilv
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滚型纳米压印光刻是一种高效、低成本制造大面积微纳米结构的新型图形化方法,不同于传统的平板式纳米压印工艺,滚型纳米压印具有高效、连续压印独特的优势.它在抗反射光学薄膜、太阳能电池、柔性电子器件、OLED、大尺寸LCD显示、微流控器件等领域已经展示了巨大的潜能和商业化应用前景.综述了滚型纳米压印工艺的最新研究进展,并讨论了其面临的挑战性技术难题、未来的发展趋势和工业化应用前景.
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