【摘 要】
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利用应变SiGe Si异质pn结电容 电压 (C V)特性确定SiGe禁带宽度的技术 .该技术根据SiGe Si异质pn结C V实验曲线 ,计算出pn结接触电势差 ,并得到SiGe Si的价带偏移量和导带偏
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所; 西安电子科技大学微电子研究所 西安710071; 西安710071; 西安710071;
【基金项目】
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模拟集成电路国家重点实验室基金 (批准号 :99JS0 9 3 1DZ0 111)资助的课题~~
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利用应变SiGe Si异质pn结电容 电压 (C V)特性确定SiGe禁带宽度的技术 .该技术根据SiGe Si异质pn结C V实验曲线 ,计算出pn结接触电势差 ,并得到SiGe Si的价带偏移量和导带偏移量 ,进而求得SiGe禁带宽度 .该技术测试方法简便 ,其过程物理意义清晰 ,既适用于分立的SiGe Si异质pn结 ,也可直接分析SiGe Si异质结器件中的SiGe禁带宽度 .实验结果与理论计算及其他相关文献报道的结果符合较好 .
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