非晶硅中氟的浓度分布

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本文用尖锐共振核反应法测定氟在非晶硅中的深度分布,为检验退卷积方法的适用范围,对能级宽度在1keV以下和1keV以上两种情况,对同一样品进行了测量。结果表明:在1keV以下退卷积方法仍可适用。
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