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利用射频磁控溅射方法,以六角氮化硼（h BN）为靶材,在单晶硅衬底上制备氮化硼（BN）薄膜,系统地研究了沉积时间对BN薄膜相结构的影响。红外光谱分析表明,随着沉积时间的增加,薄膜中h BN相含量减少,正交氮化硼（o BN）相含量增加。
沉积时间对磁控溅射法制备氮化硼薄膜相结构的影响
【摘 要】
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利用射频磁控溅射方法,以六角氮化硼（h BN）为靶材,在单晶硅衬底上制备氮化硼（BN）薄膜,系统地研究了沉积时间对BN薄膜相结构的影响。红外光谱分析表明,随着沉积时间的增加,薄膜中h
【机 构】
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包头师范学院
【出 处】
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产业与科技论坛
【发表日期】
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2016年23期
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