窄带Mo/Si多层膜反射镜

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设计并制备了窄带Mo/Si多层膜反射镜。利用高反射级次和减小Mo层厚度两种方法减小Mo/Si多层膜反射镜光谱宽度。对Mo层厚度分别为2nm和3nm的Mo/Si多层膜,设计了反射级次分别从1到6的多层膜系。制备方法采用直流磁控溅射技术,在国家同步辐射光谱与计量站上测试。结果表明,带宽随着反射级次增加而减少,在同一反射级次,Mo层厚度为2nm的多层膜反射光谱带宽较小。
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