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由大型高功率激光装置的特点，需要其内部的机械结构件表面有较高的洁净度。通常情况下内部的在线可替换单元模块（LRU）等洁净度都要求达到美军标百级水平，因此洁净清洗成为装置集成安装环节一个重要因素。本文根据高功率激光装置建设的工程任务，结合国内相关装置建设的经验，系统分析了超声波清洗的可行性，并配合洁净检测的结果对比验证，证明超声波清洗可以满足洁净清洗的需求。