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通过混合集成型结构光学拾音器的光学设计和芯片设计，制作了包含微光学棱镜，光电探测器和信号放大电路的混合集成型光学拾音器。经过测试，发现有较好的信号输出特性，表明混合集成型光学拾音器已基本研制成功。
混合集成型光学失拾音器的设计与制作
【摘 要】
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通过混合集成型结构光学拾音器的光学设计和芯片设计，制作了包含微光学棱镜，光电探测器和信号放大电路的混合集成型光学拾音器。经过测试，发现有较好的信号输出特性，表明混合集成
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学分部
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2002年2期
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