【摘 要】
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亚微米集成电路指特征尺寸为1微米至0.5微米的集成电路芯片。深亚微米集成电路指特征尺寸小于0.5微米到0.05微米的芯片。亚微米、深亚微米集成电路的线宽已接近纳米量子效应
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亚微米集成电路指特征尺寸为1微米至0.5微米的集成电路芯片。深亚微米集成电路指特征尺寸小于0.5微米到0.05微米的芯片。亚微米、深亚微米集成电路的线宽已接近纳米量子效应区。"十五"期间,亚微米、深亚微米集成电路的设计和制造已列为高新技术工程重点项目之一。在信息安全、通信、消费类电子产品等领域,着力提高集成电路芯片的自主开发能力、系统设计水平:在信息产品系统中,逐步提高国产芯片的比例;在设计工具和设计方法方面,不断提高研究水平和应用水平;在生产制造方面,不断
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