MOEMS器件研究及其应用

来源 :2004第四届精密工程学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaobaobao127

【摘要】

：

近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、

【作者】

：

巫正中钟先信李晓毅余文革

【机构】

：

重庆大学光,电技术与系统开放实验室微系统中心,重庆,400044;后勤工程学院,后勤自动化工程系指挥自动化教研室,重庆,400042

【出处】

：

2004第四届精密工程学术研讨会

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

MOEMS 微机械微光学微光机电系统微型组件自动控制

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