论文部分内容阅读
以K9为基底设计了一种超宽截止边带滤光片，即：截止带波长0．5—0．85μm、高透波长0．9～1．3μm，膜层总数为57层，总厚度达6．026μm，工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法，薄膜材料仅含有TiO2和SiO2，并分别作为高低折射率材料。利用分光光度计对该膜系样品的透过率进行测量，测试结果表明截止区（0．5—0．85μm）的截止深度达5×10-3以下，截止带宽达350nm，0．9～1．3μm通带内的平均透过率也达到83．14％，除通带短波边缘外，实际样品的光学特性与设计结果基本相符