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本研究采用带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪,并结合阀切割技术,建立高纯三氟化氮中多种痕量杂质的气相色谱快速检测方法。结果表明,高纯三氟化氮中具有O2+Ar、N2、CF4、CO2、N2O等杂质,且该分析方法具有重复性。此法可应用于三氟化氮中多种痕量杂质的快速检测。
脉冲放电氦离子化检测器在高纯三氟化氮气体分析中的应用
【摘 要】
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本研究采用带有脉冲放电氦离子检测器的气相色谱仪,并结合阀切割技术,建立高纯三氟化氮中多种痕量杂质的气相色谱快速检测方法。结果表明,高纯三氟化氮中具有O2+Ar、N2、CF4
【机 构】
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广东省计量科学研究院
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2019年6期
【基金项目】
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广东省省级科技计划项目(2016A040403072).
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