等离子刻蚀和刻蚀后的清洗气体—三氟化氮

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黎明化工研究院在洛阳众多的研究机构中有着独特的优势,所从事的化工新材料和化学推进剂原材料的研究开发和生产在国内属于顶尖级。年产20万吨三氟化氮气体工程是黎明院的一个产业化项目。该项目是根据我国通讯、计算机、电子消费品和汽车的发展前景,对集成电路需求增长的情况,而决定上马的“核心制造”。这种气体是近年来刚刚发展起来的一种新型的电子、信息产业使用的等离子刻蚀和刻蚀后的清洗气体,它取代了过去使用的对大气层有破坏作用的材料。它的投产不仅能增加国产电子气体品种和出口创汇能力,提高产品生产的技术水平及行业竞争力,而且对于经济效益的提高作用巨大。因 Liming Institute of Chemical Industry in Luoyang many research institutes have a unique advantage, engaged in new chemical materials and chemical propellant raw materials research and development and production in the country are top class. An annual output of 200,000 tons of nitrogen trifluoride gas project is a dawn hospital industrialization projects. The project is based on China’s communications, computers, consumer electronics and automotive development prospects, the growth of demand for integrated circuits, and decided to launch the “core manufacturing.” This gas is a new type of plasma and etch cleaning gas used in the electronics and information industries just developed in recent years. It replaces the previously used atmosphere-damaging materials. Its production will not only increase domestic e-gas varieties and foreign exchange earning capacity, improve the technical level of product production and industry competitiveness, but also greatly enhance the economic benefits. because
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