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本文综述多晶硅生产尾气回收分离再利用的工艺方法,探讨冷冻法与吸附分离法的优缺点,实现多晶硅的绿色生产。
多晶硅生产尾气的回收再利用工艺概述
【摘 要】
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本文综述多晶硅生产尾气回收分离再利用的工艺方法,探讨冷冻法与吸附分离法的优缺点,实现多晶硅的绿色生产。
【机 构】
：
盐城师范学院化学化工学院
【出 处】
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科技经济市场
【发表日期】
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2012年10期
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