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期刊论文
位相板衍射准直研究
位相板衍射准直研究
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:snrgw91924
【摘 要】
:
本文介绍了在大尺寸测量情况下,利用半导体激光光纤和位相板衍射技术进行准直的原理和方法,理论上分析了高斯光束通过位相板后衍射光场的特点,提出并分析了影响该原理精度的
【作 者】
:
郝群
【机 构】
:
北京理工大学光电工程系
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
位相板
衍射图样
准直
几何量测量
形位误差
半导体激光光纤
衍射技术
Phase plate Diffraction imaging Alignment
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本文介绍了在大尺寸测量情况下,利用半导体激光光纤和位相板衍射技术进行准直的原理和方法,理论上分析了高斯光束通过位相板后衍射光场的特点,提出并分析了影响该原理精度的因素,从理论上分析并用计算机仿真验证了该原理在大尺寸形位误差测量中的可行性.
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