ITO薄膜光学特性的分析

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本文从麦克斯韦电磁场方程和电子运动方程出发,用束缚电子的有效质量代替自由电子质量,从而导出半导体中电场波动方程,进而解出复折射率表示式。从对复折射率的分析中看出,由于半导体的弛豫时间较长,金属性较小。铟锡氧化物(ITO)属于半导体,故在可见光域透明,红外光域不透明;而金属在可见光域不透明,紫外光域才具有一定透明性。这种特性可被用在滤光,抗反射,增透等光学薄膜中。 Based on the Maxwell’s electromagnetic field equation and the electron equation of motion, this paper substitutes the effective mass of the bound electron instead of the free electron mass to derive the wave equation of the electric field in the semiconductor, and then deduces the complex refractive index expression. From the complex refractive index analysis shows that, due to the longer semiconductor relaxation time, less metallic. Indium tin oxide (ITO) is a semiconductor, so transparent in the visible light, infrared light opaque; and metal in the visible light opaque, UV light has a certain transparency. This feature can be used in optical filters, anti-reflection, anti-reflection and other optical films.
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