【摘 要】
：
基于正交试验设计,采用射频磁控溅射技术在不同工艺条件下制备了一系列纯金属Mo薄膜。以薄膜的纳米硬度和结合强度为评价指标,考察分析了溅射靶功率、基片温度、氩气流量和真
【机 构】
：
装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室,河北工业大学,
论文部分内容阅读
基于正交试验设计,采用射频磁控溅射技术在不同工艺条件下制备了一系列纯金属Mo薄膜。以薄膜的纳米硬度和结合强度为评价指标,考察分析了溅射靶功率、基片温度、氩气流量和真空度4个工艺参数对溅射Mo薄膜综合力学性能和组织结构的影响规律及机理。结果表明,所制备的多种Mo薄膜均为立方多晶结构,并在(110)和(220)晶面择优生长。薄膜由细小的"树枝"状颗粒随机堆叠而成,表面呈压应力状态。综合考虑薄膜的沉积质量和沉积效率,提出磁控溅射制备Mo薄膜的较佳工艺参数为Mo靶功率100 W,沉积温度120℃,氩气流量90 cm3/min,真空度0.2 Pa。采用优化工艺制备的Mo薄膜具有良好的结晶状态和均匀致密的组织结构,纳米硬度为7.269 GPa,结合强度高达33.8 N。
其他文献
本文从中小企业集群的特征出发,探讨了中小企业集群信贷融资的内生优势,分析了中小企业集群信贷融资优势得以发挥的条件。要更充分地发挥中小企业集群信贷融资的优势,缓解中
目的研究显微镜下斜视矫正手术治疗儿童共同性斜视的疗效及安全性。方法选取2015年2月~2018年4月我院共同性斜视患儿131例,按治疗方式分显微镜组(n=66)、常规组(n=65)。常规
在论述校园DV作品文化价值的基础上,从前期筹划、现场拍摄和后期编辑等三个方面探讨了校园DV作品创作的具体过程,并进一步指出了当前校园DV作品组织与实施中应把握的几个问题
虽然从城市层面来看,经济基本面是房价、地价的影响因素已经得到认可,但是关于房价与地价之间的关系却一直存在争议。本文以城市地价与房价为内生变量,选取5个地价影响因素和
<正>所谓市场结构是指市场的主体以及主体之间的关系,通常指一定产业的厂商间及厂商与消费者之间关系的特征和形式,其中心内容是竞争与垄断的关系。
氙气大灯全称是HID气体放电灯,它的发光原理是利用正负电刺激氙气(XENON)与稀有金属化学反应发光.HID灯泡灯管内有一颗小小的玻璃球,这里灌满了氙气及少许稀有金属,用高电流
智能手机的图像制造能力给本真生活世界的表象造成了威胁。这种威胁被认为在全球出现并且无处不在,在视听和文本图像方面,它用数字生成的表象取代了本真生活世界的特有表象。
现阶段,社会早已与互联网、多媒体是不可分割的关系,而媒体融合战略发展为全球媒体的指导方针。此时,记者群体应紧跟发展脚步,掌握好各项专业技能,提高自身职业素养。以媒体
社会的发展和时代的进步,对中等职业教育提出了更高的要求。对于中职数学教学而言,创新教学方法,提高教学质量,已成为当前研究的一个重点。“问题”是数学的核心,这就决定了
<正>当今信息技术和国际互联网的发展对经济全球化起到了根本性的推动作用,公共关系作为企业现代经营管理的战略之一也扮演着日益重要的角色,本文对新媒体在我国企业公共关系