论文部分内容阅读
本文报道了利用质量分离低能双离子束淀积法在硅－氧化硅图形衬底上采用不同的工艺条件淀积钴离子，并生长硅化钴薄膜，扫描俄歇微探针（ＳＡＭ）和Ｘ光电子能谱（ＸＰＳ）测量结果表明，只在纯硅区探测到了硅化钴。很好地实现了在图形衬底上钴离子的选择淀积和硅化钴薄膜的选择生长。
图形衬底上硅区双离子束选择淀积Co研究
【摘 要】
：
本文报道了利用质量分离低能双离子束淀积法在硅－氧化硅图形衬底上采用不同的工艺条件淀积钴离子，并生长硅化钴薄膜，扫描俄歇微探针（ＳＡＭ）和Ｘ光电子能谱（ＸＰＳ）测量结果表明，只在纯硅区探测到了
【机 构】
：
北京师范大学分析测试中心,中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
1999年11期
【基金项目】
：
八五攻关研究项目
其他文献
院内感染病例漏报是目前基层医院感染管理一大难题,阻碍了院内感染的有效控制,是爆发院内感染大流行的隐患.防止感染病例漏报,是提高医疗护理质量和保障患者安危的有力措施.
便秘是指正常的排便形态改变，排便次数减少，排出过干过硬的粪便，且排便不畅、困难。伴随症状和体征为粪便干硬、腹痛、腹胀、消化不良、乏力、食欲不佳、舌苔变厚气味难闻，触摸腹
据Soap，Perfumery ＆ Cosmetics杂志报道，美国Sara Lee公司已经同意，作为改革计划的一部分，将其直销业务以5．57亿美元卖给Tupperware公司，这将使Sara Lee公司失去其销售业务的40％。
在马路上,除了上下班车辆、公交车以外,物流运输的车辆随着电商的发展也越来越多。据估计,再过十年,最后一公里的物流运输量将会占到整个交通总量的30%。为了缓解交通堵塞的
目前急性心肌梗死的治疗已进入"再灌注时代".及时开通导致梗死的"罪犯"血管,挽救频临死亡的心肌,对病人的预后具有重要意义.治疗越早,挽救的心肌就越多,挽救的生命就越多,
拓展合作领域、互利共赢则是中奥两国这部“华尔兹”的主调。目前,奥地利已经形成环境、能源和资金优化循环,这也将成为“一带一路”框架下中奥两国未来合作的重点。