【摘 要】
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The carrier transport mechanism of Mg/Au ohmic contact for lightly doped β-Ga2O3 is investigated. An excellent ohmic contact has been achieved when the sample
【机 构】
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SchoolofMicroelectronics
【基金项目】
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supported by the National Key R&D Plan(Nos.2016YFB0400600,2016YFB0400601),the National Science Foundation of China(Nos.11675198,61376046,11405017,61574026),the Fundamental Research Funds for t he
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The carrier transport mechanism of Mg/Au ohmic contact for lightly doped β-Ga2O3 is investigated. An excellent ohmic contact has been achieved when the sample was annealed at 400 °C and the specific contact resistance is 4.3 × 10-4 Ω·cm2. F
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