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简要介绍了MEMS的设计现状和拓扑优化方法,并根据MEMS中微机构的特点,概述了拓扑优化方法在微机构中的应用.最后以微夹钳为例,对不同负载、不同约束情况下微夹钳结构进行了拓扑优化设计.
拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用
【摘 要】
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简要介绍了MEMS的设计现状和拓扑优化方法,并根据MEMS中微机构的特点,概述了拓扑优化方法在微机构中的应用.最后以微夹钳为例,对不同负载、不同约束情况下微夹钳结构进行了拓
【机 构】
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大连理工大学机械工程学院微系统研究中心
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年7期
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