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电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜影响因素研究
电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜影响因素研究
来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:waxizhaojing
【摘 要】
:
研究了N2流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜质量的影响规律及其原因。
【作 者】
:
潘俊德
田林海
【机 构】
:
太原理工大学表面工程研究所
【出 处】
:
热加工工艺
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
阴极电弧源法
ALN薄膜
电子浴
工艺参数
合成
cathode arc source
aluminum nitride thin film
electro
【基金项目】
:
山西省青年基金!资助项目 ,项目编号 :981 0 2 6
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研究了N2流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜质量的影响规律及其原因。
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