新颖的光束整形光学系统扩大了准分子激光器的应用范围

来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiatiandegushi1989

【摘要】

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准分子激光器在紫外波段发出的高脉冲能量和高平均功率的光束具有极好的稳定性,因此在诸多工业和科学研究领域的应用范围不断扩大.然而,大多数准分子激光器产生的矩形光束必

【作者】

：

黄芳

【出处】

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光机电信息

【发表日期】

：

2005年9期

【关键词】

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准分子激光器光束整形光学系统应用 Lambda 高平均功率平板显示器脉冲能量紫外波段

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准分子激光器在紫外波段发出的高脉冲能量和高平均功率的光束具有极好的稳定性,因此在诸多工业和科学研究领域的应用范围不断扩大.然而,大多数准分子激光器产生的矩形光束必须通过光学系统再整形方能满足激光加工的需要.由于准分子激光器输出光束的形状和强度分布不能用简单的光学系统进行变换,为此德国Lambda Physik公司开发了一种准分子激光束再整形用光学系统以满足各种应用的要求,如平板显示器制造中的硅退火和用光掩模写入的微细加工等.

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