【摘 要】
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本文提出以激光球面干涉仪的焦点作为定位点,被定位物体离焦引起干涉条纹的改变,利用正弦位相调制及相敏检波技术判定离焦量,从而得到一种新的定位技术。本文从理论上论证此
【机 构】
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国防科技大学应用物理系,国防科技大学应用物理系,
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本文提出以激光球面干涉仪的焦点作为定位点,被定位物体离焦引起干涉条纹的改变,利用正弦位相调制及相敏检波技术判定离焦量,从而得到一种新的定位技术。本文从理论上论证此定位技术的可行性,并得出最佳调制参数。从实测数据表明,定位精度、重复度均优于0.01微米。因此,是一种高精度非接触、高空间分辨率的定位技术。
In this paper, the focal point of the laser spherical interferometer is taken as the locating point, the interference fringe change caused by the defocusing of the positioned object is detected, and a new positioning technology is obtained by using sinusoidal phase modulation and phase sensitive detection to determine the amount of defocus. This paper demonstrates the feasibility of this positioning technology theoretically and draws the best modulation parameters. From the measured data show that positioning accuracy, repeatability are better than 0.01 microns. Therefore, it is a high-precision non-contact, high spatial resolution positioning technology.
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