论文部分内容阅读
高质量大面积ＹＢＣＯ薄膜是用原位中空柱状阴极直流磁控溅射装置制备的，化学计量比的超导靶的内为１００ｍｍ，加热器有效面积５０×４０ｍｍ＾２。在３０×３０ｍｍ＾２的Ｚｒ（Ｙ）Ｏ２ＬａＡｌＯ３基片上沉积的ＹＢＣＯ薄膜的厚度均匀度为±６％，临界温度Ｔｃ＞８９Ｋ，Ｔｃ不均匀性在１％以上，△Ｔｃ在０．８～０．９之间，临界电流密度Ｊｃ为２．０～３．５×１０＾６Ａ／ｃｍ＾２，△Ｊｃ为１．０～１．５Ａ／ｃｍ＾２，微