【摘 要】
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<正> 一、前言 在半导体、集成电路的制造中,利用超声波的能量进行键合的工艺,具有焊接可靠、工作效率高、不需加热、并可用硅铝丝作为连接线等优点。因此,我厂在试制超声波
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<正> 一、前言 在半导体、集成电路的制造中,利用超声波的能量进行键合的工艺,具有焊接可靠、工作效率高、不需加热、并可用硅铝丝作为连接线等优点。因此,我厂在试制超声波键合的同时,试制了超声波发生器及换能器。 本文重点在于介绍锁相环路在超声波发生器中的应用,对于其余部分,恕不在此详述。但是为了更好地说明锁相环路在该机中的控制原理,首先须将超声波换能器的结构及其等效电路作简单的介绍。
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